Productbeschrijving:
Silicon on Insulator (SOI)-wafels bieden een productieoplossing die kan helpen het vermogen en de hitte te verminderen en tegelijkertijd de snelheidsprestaties van het apparaat te verhogen.
Silicium op isolatorwafels komen het meest voor in micro-elektromechanische systemen (MEMS) en geavanceerde complementaire metaal-oxide-halfgeleider (CMOS) geïntegreerde schakelingen. Silicium op isolatorwafels verbeteren veel van de processen waarin meer traditionele siliciumwafels worden gebruikt.
Deze wafers bieden een productieoplossing die helpt het vermogen en de hitte te verminderen en tegelijkertijd de snelheidsprestaties van een apparaat te verhogen. Silicium op isolatorwafels is een drielaagse materiaalstapel die uit het volgende bestaat: een actieve laag silicium van topkwaliteit (apparaatlaag), een begraven oxidelaag (doos) van elektrisch isolerend siliciumdioxide en een bulk-siliciumsteunwafel (handvat). SOI-wafers zijn unieke producten voor specifieke eindgebruikerstoepassingen.
| Project | Parameter | |
|
Algemeen |
Wafeldiameter (mm) |
50/75/100/125/150/200 mm ± 25um |
|
Boeg/Schering(<> |
<10um |
|
|
Deeltjes(<> |
0.3um<30ea |
|
|
Vlakke/inkeping |
Plat of inkeping |
|
|
Randuitsluiting (mm) |
/ |
|
|
Apparaatlaag |
Apparaatlaagtype/doteringsmiddel |
N-type/P-type |
|
Oriëntatie van apparaatlaag |
<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0> |
|
|
Apparaatlaagdikte (um) |
0.1~300um |
|
|
Weerstand apparaatlaag (ohm·cm) |
0.001~100,000 ohm-cm |
|
|
Deeltjes op apparaatlaag(<> |
<30ea@0.3 |
|
|
Apparaatlaag TTV(<> |
<10um |
|
|
Afwerking apparaatlaag |
Gepolijst |
|
|
DOOS |
Begraven thermische oxidedikte (um) |
50nm(500Å)~15um |
|
Handvatlaag |
Behandel wafeltype/doteringsmiddel |
N-type/P-type |
|
Oriëntatie van wafeltje |
<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0> |
|
|
Weerstandsvermogen van het handvatwafeltje (ohm-cm) |
0.001~100,000 ohm-cm |
|
|
Handvatwafeldikte (um) |
>100um |
|
|
Handvat Waferafwerking |
Gepolijst |
|
*Als uw vereisten buiten de bovenstaande specificaties vallen, neem dan contact met ons op om dit verder te bespreken. Voor verschillende apparaatlaagdiktes en aangepaste SOI-wafers kan er voor bepaalde specificaties een minimale bestelhoeveelheid van 15-25 wafers gelden.
Populaire tags: 2"-8"soi-wafel, China 2"-8"soi-wafelfabrikanten, leveranciers, fabriek
